湘能华磊光电申请半导体芯片洁净室加湿系统专利, 大幅提升湿度控制精度

国家知识产权局信息显示，湘能华磊光电股份有限公司申请一项名为“一种半导体芯片洁净室加工用加湿系统及方法”的专利，公开号CN122359840A配资平台怎么样，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体芯片洁净室加工用加湿系统及方法，涉及空气调节与净化技术领域。该系统包括中央空气处理单元、送风管网、分布式加湿单元、送风末端装置、洁净度检测单元、回流处理单元、回风系统和控制系统；分布式加湿单元设置于洁净室上方的夹层空间内且位于送风末端装置正上方；洁净度检测单元设置于送风末端装置出风侧，用于检测颗粒物和气态分子污染物浓度；回流处理单元根据检测结果将不合格空气切换至回流管路再处理。本发明通过夹层分布式布局实现近终端精准加湿，同时通过洁净度实时检测与智能回流处理形成双维度闭环保障，大幅提升了半导体芯片洁净室的湿度控制精度、空气洁净度和系统运行可靠性。

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天眼查资料显示，湘能华磊光电股份有限公司，成立于2008年，位于郴州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本43700.129万人民币。通过天眼查大数据分析，湘能华磊光电股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目344次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息705条，此外企业还拥有行政许可39个。